NAZIV:
Kombinirani naprševalni sistem s kovinami ter ogljikom Quorum, Q150T Plus
OPIS:
Naprševalni sistem se uporablja za pripravo neprevodnih vzorcev za SEM, TEM in FEGSEM mikroskope ter druge analitske metode, kjer je naprševanje z visoko ločljivostjo potrebno. Izbrani naprševalni sistem Quorum, Q150T Plus deluje v visokem vakuumu ter vsebuje dve naprševalni glavi (eno za kovine in drugo za ogljik), ki se lahko zamenjajo v zelo kratkem času, inteligentna logika pa sama prepozna posamezno glavo in nastavi ustrezne delovne parametre. Nastavljajo se lahko parametri naprševanja za posamezne vzorce. Protokoli naprševanja se lahko shranjujejo.

Glavne komponente naprševalnega sistema so:
  • Naprševalne glave za tarče za žlahtne kovine, kot so npr. Au, Pt in in oksidirajoče kovine.
  • Kot standardna tarča je vključena ena Cr tarča (57 mm premera in 0,3 mm debeline), ki omogoča naprševanje s tankimi sloji kovine in s tem mikroskopiranje pri povečavah do 200 kx (FEGSEM), za SEM vzorce pa je vključena tudi Au tarča (57 mm x 0,1 mm).
  • Druga naprševalna glave z C – ogljikovo nitko; dodana pa je tudi naprševalna glava z C – ogljikovimi palčkami premera 3,05 mm
  • Rotirajoča mizica za vzorce premera 50 mm, ki omogoča enakomerno naprševanje z vseh strani vzorca (Rotacota nosilec za vzorce z menjanjem nagiba in z nastavljivo hitrostjo rotacije od 8-20 o/min)
  • Standardna delovna komora za vzorce je iz borosilikatnega stekla premera 152 mm in višine 127 mm, dodana pa je tudi podaljšana delovna komora (premera 152 mm in višine 214 mm), ki omogoča naprševanje tudi bolj občutljivih vzorcev, ki bi se preblizu izvora lahko poškodovali
  • Visokovakuumski sistem vsebuje membransko predčrpalko (za doseganje nizkega vakuuma) ter turbomolekularno črpalko (TMP) za visoki vakuum (vakuum nižji od 5x10-5 mbara). Za merjenje visokega vakuuma je vključena tudi Penningmerilna glava. Prednost takšnega naprševalnega sistema je tudi v merilniku debeline napršenega sloja.
  •  Enakomeren nanos prevodne plasti na vzorec z vseh strani omogoča Rotacota nosilec, s katerim lahko menjamo kot nagiba kot tudi hitrost rotacije.

Dostop do opreme je možen po predhodnem dogovoru, cena preiskave pa je odvisna od zahtevnosti analize in priprave vzorcev.

Nakup opreme je sofinancirala Agencija za raziskovalno dejavnost Republike Slovenije (ARRS). 
Skrbnik opreme je dr. Erika Švara Fabjan (erika.svara@zag.si).
DATUM NABAVE:
16.06.2021
SLIKE: