- Grobovakuumski (10 – 650 Pa) in visokovakuumski način mikroskopiranja
- Ločljivost 3,0 nm (30 kV); 15,0 nm (1,0 kV) v visokovakuumskem načinu
- Ločljivost 4,0 nm (30 kV, BED) v grobovakuumskem načinu
- Povečava od 5x do 300.000x
- Slika sekundarnih elektronov (SEI) ter trije načini slike odbitih elektornov (BED-T – topografska slika; BED-S – stereo-mikroskopska slika in BED-C – kompozicijska slika)
- Izvor: W filament
- Pospeševalna napetost od 0,3 do 30 kV
- Tok elektronskega curka od 1 pA do 1 µA
- Zajem slike (v pikslih oz. slikovnih točkah): 640 x 480; 1280 x 960; 2560 x 1920 ter 5120 x 3840
- Maksimalna velikost vzorca 200 mm (premer) x 75 mm (višina)
Kontakt: mikroskop@zag.si